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WS-1000Wet Station濕法刻蝕設備,全白色聚丙烯構(gòu)造,可內(nèi)置任何Laurell公司的旋涂機及顯影機,排放簡便的入氮口和DI噴頭,如果需要單工的系統(tǒng),可選擇WS-1000M濕法刻蝕設備,WS-1000系列旋轉(zhuǎn)處理濕法設備可以被配置成測試模塊構(gòu)造,安裝簡便,易于拆卸,更便于操作者控制。
一、濕法刻蝕設備功能:
● 涂敷Coating
● 刻蝕Etching
● 顯影Developing - Aqueous / Solvent
● 清洗Cleaning-Aqueous / Solvent
● 可選配, Sulfuric硫化物 / Peroxide雙氧水,溶液處理(insitu mixing)
● 可選配, HBr溶液處理
● 帶溫控的顯影功能
● 沖洗甩干
二、濕法刻蝕設備特點:
● 全PP材質(zhì)構(gòu)造
● 可集成Laurell勻膠旋涂系統(tǒng)
● 有排孔的濕站操作臺 (易清潔)
● 特殊設計的濕站壓力系統(tǒng)Wet plenum
● 帶流量計的排液管道
● 各類組件的隔離設計(散熱原件,泵浦和壓力容器等)
三、濕法刻蝕設備材料選擇:
可以根據(jù)應用選擇更高級的材料;
● WS-1000-CP5 符合SEMI S93標準應用在消防安全和潔凈空間等領域。CP5符合UL94 V-O 火災分類標準。它具有優(yōu)良的平衡的物理性能,耐化學藥品性和耐火性。
● WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合zui嚴格的FMRC 4910測試標準,滿足多方面條件下的難燃性,自熄特點和*燃燒。這種*的材料也達到或超過產(chǎn)生低煙和zui小毒副產(chǎn)品的檢測標準。